Магнетронная распылительная пушка с гибкой головкой для источников диаметром 25,4 мм

Магнетронная распылительная пушка выполнена для работы в условиях высокого вакуума и допускает использование аргона при рабочем давлении примерно от 1 мторр до 1 торр. Снижение числа столкновений газа внутри камеры способствует повышению качества покрытия. Круглые редкоземельные магниты отделены от охлаждающей воды защитным покрытием, предохраняющим их от коррозии и повышающим долговечность. Магниты можно заменять на месте, что упрощает эксплуатацию и обслуживание. Магнитная сборка обеспечивает высокую напряженность и равномерный профиль поля. Низкоимпедансная распылительная головка оснащена стандартным разъемом и позволяет подключать широкий диапазон совместимых источников питания. Установка выполняется обычными инструментами, а смена мишени не требует приклеивания. В комплект входят медная опорная пластина и одна медная мишень. Максимальная толщина мишени составляет 3 мм. Источник допускает вакуумный прогрев до 200 °C. Для работы требуется фильтрованное водяное охлаждение с расходом 1,89 л/мин; температура воды на входе должна быть ниже 20 °C, подключение выполняется трубками с наружным диаметром 4 мм. В комплект входит быстросъемное высоковакуумное соединение с внутренним диаметром 19,05 мм для установки на опорную плиту вакуумной камеры толщиной до 25,4 мм через сквозное отверстие диаметром 25,4 мм. Общая длина составляет 355,6 мм, масса нетто — 1,36 кг. Головку можно наклонять на ±45° для регулировки угла падения частиц; риски на узле наклона обеспечивают точную настройку.

Наименование производителя

1" Magnetron Sputtering Gun with Flexible Head for DIY RF and DC PVD Coating Machine Sputter Source HVMSS-SPC-1-LD