Источник питания постоянного тока для магнетронного распыления, 10 кВт

Источник питания предназначен для магнетронного распыления и нанесения покрытий на изолирующие слои. Выходной ток регулируется в диапазоне 0–12 А, рабочее напряжение составляет от −200 до −800 В, а напряжение холостого хода — −1 кВ. Предусмотрена отрицательная полярность. Доступны режимы регулирования по току и мощности; точность регулирования не превышает 1 %, КПД составляет не менее 90 %, коэффициент мощности — не менее 0,9. Управление выполняется кнопками на передней панели или аналоговым сигналом с функциями запуска, остановки и настройки выходных напряжения, тока и мощности. Аналоговое управление также поддерживает внешнюю защиту от размыкания цепи. Установлен двуязычный ЖК-дисплей с отображением на китайском и английском языках. Класс изоляции — B, степень защиты — IP20, время реакции защиты — 1 мкс. Охлаждение осуществляется принудительным воздушным потоком. Габариты составляют 480 × 135 × 380 мм. Система защиты контролирует перенапряжение, пониженное напряжение, сверхток, потерю фазы, утечку, перегрев и состояние заземления. Модульная схема упрощает наладку и техническое обслуживание, а функция подавления дуги снижает вероятность возникновения дугового разряда. Источник питания рассчитан на широкий диапазон нагрузки. Неисправности обнаруживаются и обрабатываются более чем по 10 функциям; о них сообщают звуковая сигнализация, сообщения на дисплее и отдельный сигнал типа неисправности.

Наименование производителя

10KW DC Magnetron Sputtering Power Supply for PVD Vacuum Coating and Thin Film Deposition Systems