Ротационная трубчатая печь

Система объединяет два двухканальных клапана, один канал подачи жидкой и паровой фазы и четыре канала подачи газа. Панель управления параметрами подачи технологических сред размещена на мобильной тележке; управление выполняется программируемым логическим контроллером через сенсорный экран диагональю 152,4 мм. Два клапана оснащены контроллером импульсов с минимальной длительностью импульса 10 мс. Для нагрева предусмотрены термоприводы. Автоматический генератор жидкость–пар входит в систему и подключается к клапану. Максимальная температура печи составляет 1200 °C, а максимальная температура непрерывного нагрева — 1100 °C. Два программируемых прецизионных цифровых регулятора температуры имеют 30 сегментов. Входное питание составляет 208–240 В переменного тока при однофазном подключении, максимальная входная мощность — 4 кВт. Скорость вращения регулируется в диапазоне 0–10 об/мин. Кварцевая труба имеет размер 101,6 мм. Антикоррозионный манометр, независимый от типа газа, измеряет давление в диапазоне от 3,8 × 10^-5 до 1125 торр, обеспечивает высокую точность и воспроизводимость при атмосферном давлении и быстро определяет атмосферное давление. Чувствительный элемент манометра легко заменяется. Система имеет сертификацию CE.

Наименование производителя

1200°C Max Rotary Powder ALD Tube Furnace System | 4 Inch Atomic Layer Deposition Reactor for Advanced Lab Analysis, High Precision 800°C PEALD Equipment | Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition System with 4" Rotary Stage for Labs