Твердотельный радиочастотный генератор

Встроенный модуль согласования использует цифровую сетевую платформу для работы со сложным импедансом плазмы и быстро, точно и воспроизводимо подстраивает его под заданный диапазон настройки. Цифровой алгоритм настройки и шаговый привод обеспечивают быстрый, точный и повторяемый отклик при согласовании с импедансом нагрузки. ЖК-дисплей предоставляет меню управления с панели прибора, а многофункциональная передняя панель упрощает эксплуатацию. Диапазон выходной мощности составляет 5–300 Вт; максимальная отражённая мощность — 100 Вт, стабильность мощности — ±0,1 %. Питание осуществляется от однофазной сети переменного тока 187–253 В с частотой 50/60 Гц. Общий коэффициент полезного действия составляет не менее 70 %, коэффициент мощности — не менее 90 %. Максимальная передаваемая мощность согласующего устройства равна 500 Вт. Максимальные действующие значения тока и напряжения нагрузки составляют 30 А и 7500 В соответственно. Время согласования — 1–3 с; реальная часть согласуемого импеданса находится в диапазоне 0–80 Ом, мнимая часть — в диапазоне от +200j до −200j. Предусмотрено принудительное воздушное охлаждение. Масса изделия составляет 19,5 кг, габариты — 133 × 440 × 410 мм. Выходной разъём имеет сопротивление 50 Ом.

Наименование производителя

13.56MHz RF Generator 5-300W Adjustable Auto Matching Network OEM Air Cooling One Year Warranty for Plasma Sputtering Coater, Compact Solid-state 13.56MHz 500W 1000W 2000W Radio Frequency Power Supply RF Generator with Automatic Matcher, Precision 13.56MHz 500W 1000W 2000W RF Power Supply with Automatic Matcher for Sputtering and Etching, MGSI Laboratory RF Plasma Power Supply | 500W Adjustable 13.56MHz Generator Automatic Matching Network OEM Customizable One Year, Compact 300W 13.56MHz RF Generator with Auto Matching Network OEM Air Cooling for DIY Sputtering Magnetron Power Supply, 500W 13.56 MHz RF Plasma Generator / RF Power Supply OEM for Plasma Etching Cleaning & Polymerization, Compact 300W 13.56MHz RF Generator with Auto Matching Network for Lab Drying Equipment DIY RF Sputtering & Magnetron Coating, Compact 13.56MHz 300W RF Generator with Auto Matching Network for RF Sputtering and Plasma Cleaning - RF-300I-LD