Артикул: 508-348
Модель: МЭК-45(4Е)
Секция: Дополнительная
Трёхголовочная магнетронная установка
Камера установки выполнена из высокочистого кварца и имеет наружный диаметр 256 мм, внутренний диаметр 238 мм и высоту 276 мм. Уплотнительный фланец диаметром 274 мм изготовлен из алюминия и оснащён высокотемпературным силиконовым уплотнительным кольцом. Защитная клетка из нержавеющей стали предназначена для полного экранирования излучения от камеры. Вакуумный порт встроен для подключения насоса: с двухступенчатым механическим насосом достигается уровень вакуума 1.0E-2 Торр, а с турбонасосом — 1.0E-5 Торр. Держатель образца представляет собой вращаемую нагреваемую платформу с керамическим нагревателем и крышкой из нержавеющей стали. Он имеет диаметр 50 мм и рассчитан на пластины размером до 50,8 мм. Скорость вращения регулируется в диапазоне 1–10 об/мин. Рабочее расстояние регулируется от 50 до 80 мм, угол обработки — от 0 до 25°. Охлаждение головок обеспечивается рециркуляционным водяным охладителем производительностью 10 л/мин. Максимальный размер мишени составляет 25,4 мм в диаметре при толщине до 3,175 мм. Медная мишень диаметром 25,4 мм включена для демонстрационного тестирования. Габариты установки — 540 × 540 × 1000 мм, масса нетто — 60 кг.
Задать вопрос Искать на Baidu
Какую задачу решает магнетронная установка
Магнетронная установка используется в лабораторных исследованиях для нанесения многослойных оксидных тонких плёнок на монокристаллические оксидные подложки.
Характеристики МЭК-45(4Е)
Модель (по базе 91Т)МЭК-45(4Е)
Максимальная температура600 °C
Номинальная мощность100 Вт
Магнетронная установка - гибкость поставки.
Каждый проект по-своему уникален, и мы это понимаем. Именно поэтому по запросу мы можем обсудить корректировку технических характеристик, типоразмеров и комплектации МЭК-45(4Е) под условия применения (на базе производителя-оригинала или нашего завода в России).
Каждый проект по-своему уникален, и мы это понимаем. Именно поэтому по запросу мы можем обсудить корректировку технических характеристик, типоразмеров и комплектации МЭК-45(4Е) под условия применения (на базе производителя-оригинала или нашего завода в России).
Данные проверены на актуальность: 25.09.26
Информация о производителе и характеристиках подтверждена.
Люди, которые искали Магнетронная установка, также смотрели:
+5 фотоШарнирно-сочленённый телескопический колёсный мини-погрузчик грузоподъёмностью 2 т с полным приводом
Модель: ЮДВ-82(4В)
Шарнирно-сочленённый телескопический колёсный мини-погрузчик оснащён гидростатической трансмиссией, полным приводом на четыре колеса и четырьмя гидравлическими колёсными моторами. Максимальная грузоподъёмность составляет 2000 кг, вместимость ковша — 1 м³, мощность двигателя — 55 кВт. Габариты машины
+2 фотоВысоконапорная машина для распыления
Модель: ТБЯ-81(1П)
Машина предназначена для распыления полиуретана и полиуреи.
+5 фотоДизельный внедорожный вилочный погрузчик 4x4 грузоподъёмностью 3500 кг
Модель: ЛСЮ-59(1К)
Внедорожный вилочный погрузчик выпускается с вариантами длины вил 1000, 1070, 1150, 1200, 800 или 1220 мм и ширины вил 100, 125, 150, 175, 200 или 75 мм.
Гидравлический кран-манипулятор на грузовом автомобиле с телескопической стрелой, грузоподъёмностью 6, 8 или 10 т и поворотом на 360°
Модель: ГАК-18(1Е)
Гидравлический кран-манипулятор на грузовом автомобиле предназначен для подъёма грузов. Телескопическая стрела обеспечивает работу с грузами массой 6, 8 или 10 т и поворот крана на 360°. Максимальная высота подъёма составляет 32 м. Оборудование предназначено для применения при строительных работах.