Трёхголовочная установка магнетронного распыления с системой очистки газа

В единый блок управления встроены три источника питания для распыления: источник постоянного тока мощностью 500 Вт и радиочастотный источник мощностью 300 Вт с частотой 13,56 МГц. Входное питание однофазное, 220 В переменного тока с допуском ±10 %, частота 50/60 Гц, общая мощность составляет 2000 Вт с учётом вакуумного насоса и охладителя воды. Распылительные головки диаметром 25,4 мм оснащены водяными рубашками охлаждения, устанавливаются через быстрозажимные соединения и имеют ручную заслонку на фланце. Циркуляционный охладитель воды обеспечивает расход 16 л/мин. Максимальные размеры мишени составляют 25,4 мм в диаметре и 3,175 мм по толщине. Расстояние распыления регулируется в пределах 50–80 мм, угол распыления — 0–25°. В комплект входят медная мишень, мишень из оксида алюминия и медные опорные пластины толщиной 1 и 2 мм. Вакуумная камера из высокочистого кварца имеет наружный диаметр 256 мм, внутренний диаметр 238 мм и высоту 276 мм. Уплотнительный фланец из алюминия диаметром 274 мм оснащён высокотемпературным силиконовым уплотнительным кольцом. Максимальный вакуум составляет 1,0 × 10⁻⁵ Торр при использовании турбонасоса и прогреве камеры. Защитный экран из нержавеющей стали обеспечивает радиочастотное экранирование. Вибрационный держатель образца оснащён двигателем с регулируемой скоростью 400–2000 об/мин. Резервуар для порошка чашечной формы имеет размер 50,8 мм; порошок подпрыгивает и самостоятельно вращается. Количество порошка составляет 5–20 мл, размер частиц — 1–1000 мкм, при этом порошок должен быть высушен в вакууме. Система очистки газа предназначена для замены турбонасоса при нанесении покрытий на аккумуляторные элементы. Две молекулярно-ситовые колонны удаляют кислород и влагу; предусмотрены встроенные контроллеры температуры регенерации, автоматическая продувка и автоматическое регулирование давления. Система оснащена сенсорной панелью ПЛК размером 152,4 мм. После очистки давление в камере можно установить в диапазоне 50–100 мТорр. Опционально доступен кварцевый монитор толщины плёнки с точностью 0,010 нм; установку можно размещать в стандартном перчаточном боксе для материалов, чувствительных к воздуху. Масса установки без упаковки составляет 70 кг.

Наименование производителя

3 Heads RF/DC Magnetron Sputtering Coater with Gas Purification System for Powder Coating VTC-3HD-VP