Печь для нанесения покрытий с вращающимся держателем пластин

Печь оснащена вакуумной камерой из нержавеющей стали с внутренним диаметром 500 мм и высотой 460 мм. Турбонасос обеспечивает уровень вакуума 10⁻⁵ торр, а механический насос — 10⁻² торр. В верхней и нижней части камеры расположены инфракрасные нагреватели с регулируемым зазором 2–25 мм. Нагреватели выполнены из нержавеющей стали и имеют водоохлаждаемые кожухи. Графитовые плиты установлены над инфракрасными нагревателями для повышения равномерности нагрева. Верхний держатель пластины вращается со скоростью 1–10 об/мин. Два кварцевых окна диаметром 60 мм позволяют наблюдать за процессом, а сдвижная герметичная заслонка перекрывает источник испарения при высоком вакууме. В состав оснащения входят цифровой антикоррозионный вакуумметр и циркуляционный охладитель с расходом 58 л/мин. Два цифровых регулятора температуры с 24 программируемыми сегментами независимо управляют верхним и нижним нагревателями с точностью ±0,1 °C. Сенсорный компьютер через программируемый логический контроллер управляет профилями температуры, давлением в камере, скоростью вращения и подъёмом фланца, отображает профили температуры и вакуума и запускает 10 предварительно заданных программ обработки. Максимальная рабочая температура каждого нагревателя составляет 950 °C, а разность температур между ними не превышает 300 °C.

Наименование производителя

950°C Max CSS & RTP Furnace W/ Rotating Holder for 12" Wafers | OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 Rapid Thermal Processing