Лабораторная центрифуга для нанесения покрытий на пластины

Лабораторная автоматическая центрифуга выполнена в компактном корпусе и может работать внутри перчаточного бокса. Чашеобразная технологическая камера рассчитана на пластины размером до 203,2 мм или квадратные подложки размером до 177,8 мм. Цифровой контроллер процесса задаёт время от 1 секунды до более 75 минут. Скорость вращения и ускорение достигают 12000 об/мин; расширение диапазона выполняется с шагом 1 об/мин. Камера изготовлена из натурального полипропилена, а крышка имеет химически стойкое исполнение и центральное отверстие. Вакуумный держатель подходит для подложек размером 50–150 мм. Вакуумный зажим рассчитан на подложки 100–200 мм; установленный над ним адаптер удерживает лотки 10–50 мм. Предусмотрены дренажный выход из натурального полипропилена, опции азотной очистки и выхлопной контейнер со съёмной полипропиленовой дренажной ёмкостью. Замок защитной двери блокирует открывание во время выполнения программы. Антикоррозионная конструкция дополнена вакуумным насосом с предельным разрежением 730 мм рт. ст. и максимальной производительностью 20 л/мин. Рабочее напряжение составляет 220 В при частоте 50/60 Гц.

Наименование производителя

Customizable 10-Inch Laboratory Spin Coater 12000rpm with PP Chamber Vacuum Pump for Wafer Thin Film Coating Machine MG-EZ10-PP, Laboratory 10-Inch Automatic Spin Coater & Glue Homogenizer for 250mm Semiconductor Wafers with Precise Speed Control