Установка для вакуумного испарительного нанесения покрытий

Установка выполнена по настольной интегрированной схеме: вакуумная камера, источник питания для нанесения покрытий и система управления объединены в одном корпусе. Резистивный испарительный узел с двумя источниками обеспечивает быстрое переключение между ними; два электрода допускают установку разных источников испарения для соответствующих материалов покрытия. Источник питания испарения работает в режиме постоянного тока, имеет точность 0,1% и выходные параметры 1000 Вт, 5 В и 200 А, а также обеспечивает защиту испарительной лодочки. Кварцевый контроллер толщины пленки может устанавливаться опционально и регулирует скорость нанесения и толщину пленки. Собранные данные процесса можно дополнительно сохранять на накопитель для анализа и управления. Стандартизированные функциональные модули комбинируются в соответствии с задачей для оптимизации условий нанесения, обслуживания и ремонта. Сенсорное управление реализовано через полностью графический интерфейс и дисплей диагональю 7 дюймов. Конструкция подходит для размещения в перчаточных боксах. Расстояние между испарительными электродами составляет 50 мм. Столик для образца диаметром 100 мм выполнен вращающимся. Точность измерения толщины пленки равна 0,1 ангстрема. Внешняя вакуумная система подключается опционально. При использовании молекулярного насоса предельное давление составляет 3,0×10^-4 Па, рабочее — 5,0×10^-3 Па. Установка рассчитана на эксплуатацию при температуре ниже 35 °C, относительной влажности ниже 75% без конденсации и высоте ниже 1500 м. Размеры без вакуумной системы составляют 440×240×260 мм (Ш×В×Г), масса — около 47 кг.

Наименование производителя

EC180 Evaporative Coating Machine for Vacuum Deposition, Dual Evaporation Source, High Precision Control