Встроенная установка термического испарения

Установка работает в двухпостовом перчаточном боксе с системой очистки, поддерживающей содержание кислорода и влажность ниже одной части на миллион. Нагревательная камера изготовлена из нержавеющей стали 304, имеет размеры 400 × 400 × 450 мм и оснащена смотровым окном диаметром 101,6 мм с защитной перегородкой от загрязнений. В нижней части камеры размещены три металлических источника испарения лодочного типа и три источника испарения органических кластерных пучков, совместимых с медью и серебром. Предусмотрено дополнительное место для зонда монитора толщины плёнки. Держатель рассчитан на подложки размером до 150 × 150 мм, оснащён водяным охлаждением, вращается со скоростью 0–30 об/мин и регулируется по высоте до 50 мм относительно мишени. Металлические источники поддерживают нагрев до 1500 °C, а также режимы постоянного тока и постоянного напряжения. Органические источники работают в диапазоне 0–700 °C, допускают изменение угла до 15°, контроль температуры в реальном времени и программирование температурных сегментов. Большая шлюзовая камера имеет размеры Ø360 × 600 мм и выдвижной лоток, малая — Ø320 × 155 мм. Вакуумная система включает механический и турбомолекулярный насосы, обеспечивающие разрежение до 1,0 × 10^-2 Торр и 1,0 × 10^-5 Торр соответственно; скорость утечки составляет менее 5 × 10^-8 Па·л/с. Сенсорная панель ПЛК контролирует давление, уровни воды и кислорода, систему очистки, а также задаёт ток, напряжение, ПИД-регулирование и контроль толщины плёнки. Питание установки испарения рассчитано на допуск ±10%, трёхфазную схему с пятью проводами, частоту 50 Гц и мощность 8 кВт; питание перчаточного бокса — на допуск ±10%, однофазную схему, частоту 50 Гц и мощность 1 кВт.

Наименование производителя

Glovebox Integrated 6-Source Thermal Evaporation Coater for Perovskite Solar Cell Fabrication Laboratory Equipment