Вакуумная установка для центробежного нанесения тонких покрытий

Установка фиксирует образец вакуумной адсорбцией и позволяет центрировать его с помощью позиционного инструмента с четырьмя установочными штифтами, уменьшая вибрацию и риск вылета при смещении. В стандартный комплект входят два вакуумных патрона с уплотнительными кольцами диаметром 19 и 60 мм; патрон выбирается по размеру образца и легко заменяется. Максимальное разрежение достигает −0,08 МПа. Бесщёточный двигатель постоянного тока мощностью 350 Вт и напряжением 24 В обеспечивает вращение со скоростью от 500 до 10 000 об/мин. В памяти сохраняются 12 программ, каждая из которых включает 6 этапов с продолжительностью от 0 до 60 с для каждого этапа; ускорение и замедление настраиваются в диапазоне 100–2000 об/мин/с. Безмасляный вакуумный насос с параллельными штангами имеет компактную конструкцию. Камера изготовлена из полипропилена, корпус выполнен из литого алюминия. Предусмотрена функция нагрева с независимым контроллером, не связанным с управлением основной программой. Нанесение покрытия возможно в атмосфере инертного газа, включая аргон и азот. При открытии верхней крышки во время нанесения покрытия или после его завершения скорость быстро снижается до полной остановки. Управление осуществляется через сенсорный экран и одноплатный компьютер с числовой индикацией; операционная система имеет английский интерфейс. Для эксплуатации требуются высота до 1000 м, температура 25 ± 15 °C, относительная влажность 55 % ± 10 %, электропитание 220 В, 50 Гц с защитным заземлением, подвод и отвод воды и вентиляция. Рабочий стол должен иметь размеры 600 × 600 × 700 мм и выдерживать нагрузку более 50 кг. Габариты установки составляют 450 × 280 × 340 мм, масса 20 кг. В комплект также входят шприц для эпоксидной смолы объёмом 20 мл с держателем и резиновая трубка с хомутом.

Наименование производителя

High-Speed Vacuum Spin Coater with 100°C Heated Cover- Laboratory Spin Coating System for Acid & Alkali Resistant Thin Films, 10,000 RPM Vacuum Spin Coater for 5" Wafer Semiconductor & Optical Coating VTC-100PA, High-Speed Spin Coater VTC-100PA-II | 200°C Heated Lid Anti-Corrosion Design for Acid & Alkali Thin Film Coating