Кварцевый монитор

Кварцевый монитор выполняет измерение толщины плёнки и скорости её осаждения непосредственно в процессе нанесения. Принцип работы основан на контроле изменения частоты колебаний кварцевого кристалла: по этому изменению определяется масса осаждённой плёнки, а при известной плотности материала рассчитывается её толщина. Разрешение измерения толщины и скорости осаждения составляет ±0,037 ангстрема при оснастке 100 % и плотности 1,00. Фиксированный диапазон частоты составляет от 6,0 до 5,0 МГц, разрешение частоты — ±0,03 Гц, скорость измерения — до 10 измерений в секунду. Разрешение дисплея составляет 0,1 ангстрема. Питание осуществляется постоянным током напряжением 5 В при токе 400 мА. Рабочая температура составляет от 0 до 50 °C. Требуемый расход воды — не менее 150–200 см³/мин при температуре не выше 30 °C; ввод рассчитан на трубку с наружным диаметром 3,0 мм. Габариты монитора составляют 114 × 76 × 25 мм, кварцевого держателя — 325 × 25 × 15 мм, масса монитора — 57 г. В комплект входят датчик с кварцевым держателем, кабель, набор из 10 кварцевых кристаллов с золотым электродом и программное обеспечение. Сменные кристаллы имеют диаметр 14 мм и якорный рисунок электрода для повышения стабильности и срока службы. Доступны кристаллы с золотым, серебряным и сплавным электродом: золотой вариант рекомендован для большинства процессов, серебряный подходит для процессов с высокой тепловой нагрузкой, включая распыление, а сплавной — для осаждения с высоким напряжением, включая оптические покрытия с диэлектрическими материалами и полупроводниковые процессы с материалами, создающими высокое напряжение.

Наименование производителя

In-Situ Thin Film Thickness / Deposition Rate Monitor with Software, and Optional Sensor, Quartz Crystals - TM106-LD