Лабораторная установка для магнетронного распыления

Лабораторная установка для магнетронного распыления выполнена в компактном настольном интегрированном исполнении: вакуумная камера, источник питания для нанесения покрытий и система управления объединены в одном блоке. Без внешнего вакуумного насоса габариты составляют 462×306×330 мм; установку можно размещать внутри перчаточного бокса. Узел нанесения покрытий оснащается тремя магнетронными мишенями размером 50,8 мм или одной мишенью размером 76,2 мм. Источник питания распыления имеет точность 0,1% и режимы постоянного тока и постоянной мощности для защиты мишеней. Опциональный кварцевый монитор толщины регулирует скорость нанесения и толщину пленки; точность измерения составляет 0,1 ангстрема. Данные о покрытии можно сохранять на внешний накопитель. Функции выполнены в виде стандартизированных модулей, которые комбинируются в соответствии с требованиями пользователя для оптимизации рабочей среды и упрощения обслуживания. Управление осуществляется через сенсорный экран с диагональю 177,8 мм и графическим интерфейсом. Питание установки составляет 220 В переменного тока, 50 Гц и 800 Вт. Для магнетрона предусмотрены мощность 500 Вт, напряжение 600 В постоянного тока и ток 1 А. Держатель образца диаметром 100 мм вращается и нагревается; его температура составляет 150–500 °C с точностью ±1 °C, функция нагрева опциональна. Внешний вакуумный насос предлагается опционально. Узел подачи газа может оснащаться клапаном тонкой регулировки или контроллером расхода. Предельное давление составляет 3,0×10^-4 Па при использовании молекулярного насоса, рабочее давление — 5–0,5 Па. Температура рабочей среды должна быть ниже 35 °C. Масса установки составляет около 18,5 кг без внешнего вакуумного насоса.

Наименование производителя

Laboratory MS180 Magnetron Sputtering Coating Machine