Лабораторный спектрометр отражения для измерения толщины плёнок

Лабораторная система измеряет толщину тонких плёнок по зеркальному отражению с помощью волоконно-оптического зонда. В режиме реального времени она работает с многослойными, тонкими, толстыми, свободностоящими и неоднородными слоями. Библиотека включает более 500 материалов, а также поддерживается работа с параметризованными материалами. Определяются толщина, оптические константы и шероховатость поверхности; измерение и анализ запускаются одной кнопкой. Система подходит для большинства просвечивающих или слабо поглощающих плёнок, включая оксиды, нитриды, фоторезисты и полимеры. Также предусмотрены измерения полупроводников, твёрдых и полимерных покрытий, а также тонких металлических покрытий. Для неметаллических просвечивающих материалов диапазон толщины составляет 15 нм–75 мкм; металлические плёнки надёжно измеряются при толщине до 50 нм, а для более толстых слоёв требуются рентгеновские измерения. Спектральный диапазон равен 400–1100 нм, спектральное разрешение — менее 1 нм. Прецизионность составляет 0,01 нм или 0,01%, точность — 0,2% или 1 нм, стабильность — 0,02 нм или 0,03%. Минимальный размер пятна — 2 мм; для надёжного измерения нужен образец размером не менее 5 × 5 мм. Спектрометр и детектор используют 2048/4096 пикселей и 16-разрядный аналого-цифровой преобразователь. Питание осуществляется от сети 100–240 В переменного тока с частотой 50/60 Гц, мощность составляет 20 Вт. Источник света — вольфрамово-галогенная лампа мощностью 5 Вт со сроком службы 10 000 ч. Для проверки измерения толщины в комплект входят эталон кремния без покрытия и тестовая кремниевая пластина с оксидным слоем толщиной 200 нм. Габариты прибора — 205 × 250 × 105 мм, масса — 4,5 кг; транспортировочные габариты — 460 × 460 × 460 мм, транспортировочная масса — 9,1 кг.

Наименование производителя

Laboratory Reflectance Spectrometer for Film Thickness Measurement From 15nm to 50 Um-TFMS-LD