Лабораторный радиочастотный генератор плазмы со встроенным автоматическим согласующим устройством

Радиочастотный генератор плазмы выполнен как комплектный источник питания плазмы, объединяющий радиочастотный источник, узел согласования импеданса и измеритель мощности. Встроенный узел согласования использует цифровую сетевую платформу. Цифровой алгоритм настройки и шаговый привод обеспечивают быстрое, точное и воспроизводимое согласование комплексного импеданса плазмы с заданным диапазоном настройки и импедансом нагрузки. Диапазон выходной мощности составляет 5–300 Вт, максимальная отражённая мощность — 100 Вт, стабильность мощности — ±0,1 %, уровень гармонических составляющих — не более −50 дБ относительно несущей. Питание осуществляется от однофазной сети переменного тока 187–253 В при частоте 50/60 Гц; общий КПД составляет не менее 70 %, коэффициент мощности — не менее 90 %. Максимальная передаваемая согласующим узлом мощность равна 300 Вт, а отражённая мощность при максимальной мощности составляет менее 3 Вт. Среднеквадратическое значение максимального тока нагрузки — 30 А, максимальное среднеквадратическое напряжение нагрузки — 7500 В. Радиочастотный выход оснащён разъёмом 50 Ом. Время согласования составляет 1–3 с; диапазон действительной части импеданса — 0–80 Ом, диапазон мнимой части — от +200j до −200j. Предусмотрено принудительное воздушное охлаждение. Управление выполняется через ЖК-дисплей и меню на панели устройства. Общая масса составляет 19,5 кг, габариты — 133 мм по высоте, 440 мм по ширине и 410 мм по глубине.

Наименование производителя

Laboratory 13.56 MHz 300W RF Power Supply with Automatic Matching Network - DIY RF Sputtering Equipment, 100W/150W 13.56MHz RF Plasma Generator with Manual Matching Network for Laboratory RF Sputtering DIY