Лабораторная установка для термического испарительного нанесения покрытий

Установка работает в условиях высокого вакуума до 10⁻⁶ торр и позволяет одновременно испарять источники двух типов. Вакуумная камера изготовлена из нержавеющей стали; её внутренний диаметр составляет 400 мм, глубина — 400 мм, высота — 450 мм, поверхность отполирована. Камера оснащена смотровым окном диаметром 100 мм и шарнирной дверцей для загрузки образцов. Для каждой испарительной лодочки предусмотрена моторизованная заслонка. Вакуумный порт DN 100 предназначен для подключения турбомолекулярного насоса и шиберного клапана. Опциональный турбомолекулярный насос имеет производительность 260 л/с; уровень вакуума после 40 минут откачки составляет 5,0×10⁻⁶ торр, а предельный вакуум после прогрева при 100–150 °C — 5,0×10⁻⁷ торр. Скорость утечки составляет 5,0×10⁻⁷ Па. Для первоначального достижения вакуума менее 1×10⁻² торр требуется механический форвакуумный насос. Предусмотрены четыре источника испарения: одна вольфрамовая нагревательная лодочка с водяным охлаждением без регулирования температуры и три тигля с резистивным нагревом и точным контролем температуры. Лодочка размером 70×12×3 мм рассчитана на нанесение покрытия при температуре до 2000 °C, тигли — до 500 °C. Держатель принимает образцы размером до 150×150 мм и вращается со скоростью 0–30 об/мин. Расстояние от источника до держателя составляет до 60 мм, а столик образца нагревается до 700 °C. Опционально предусмотрен кварцевый микровес для измерения толщины; точность контроля толщины составляет 1,0 ангстрема. Вакуум, контроль толщины и мощности объединены во встроенном блоке управления, расположенном отдельно от вакуумной камеры для удобства перемещения. Установку можно разместить внутри однокамерного или двухкамерного перчаточного бокса с раздвижной дверью.

Наименование производителя

Laboratory Drying High Vacuum Thermal Evaporation Coater With Six Sources for Perovskite Solar Cells - GSL-1800X-ZF6-PSC