Установка для электронно-лучевого испарительного нанесения покрытий

Входное питание составляет 220 В переменного тока при частоте 50/60 Гц и одной фазе; потребляемая мощность равна 800 Вт с учётом насоса, а при напряжении 110 В требуется трансформатор мощностью 1000 Вт. Радиочастотный генератор мощностью 100 Вт и частотой 13,5 МГц с ручным согласованием входит в комплект и подключён к распылительной головке диаметром 25,4 мм; сменный радиочастотный кабель имеет длину 148 см, а дополнительный генератор мощностью 300 Вт с автоматическим согласованием доступен опционально. Ручное согласование требует времени для регулировки свечения плазмы при работе с каждым типом мишени, тогда как автоматическое сокращает время настройки; одна магнетронная головка диаметром 50,8 мм снабжена водоохлаждаемой рубашкой и устанавливается в камеру через быстрозажимное соединение, а цифровой рециркуляционный охладитель подаёт 10 л/мин для её охлаждения. На фланце установлена заслонка с ручным управлением; распылительная мишень должна иметь диаметр 25,4 мм и максимальную толщину 3,175 мм, одна керамическая мишень с медной опорной пластиной предназначена для демонстрационного тестирования, а дополнительные оксидные мишени имеют диаметр 25,4 мм. Камера из кварца высокой чистоты имеет наружный диаметр 160 мм, внутренний диаметр 150 мм и высоту 250 мм; уплотнительный фланец из алюминия диаметром 165 мм оснащён высокотемпературным силиконовым уплотнительным кольцом, а сетчатый кожух из нержавеющей стали обеспечивает 100%-ное экранирование радиочастотного излучения. При прогреве достигается предельный вакуум 10^-6 торр. Вращающийся нагреваемый держатель с керамическим нагревателем и крышкой из нержавеющей стали имеет диаметр 50 мм и рассчитан на пластину диаметром до 50,8 мм; скорость вращения регулируется от 1 до 10 об/мин, а температура — от комнатной до 700 °C с точностью ±1,0 °C посредством цифрового контроллера. Встроенный точный кварцевый датчик толщины контролирует покрытие с точностью 0,10 ангстрема; пять расходных кварцевых датчиков входят в комплект, а для охлаждения требуется вода. Внешний светодиодный дисплей позволяет вводить материал покрытия по встроенной базе данных и отображает суммарную толщину и скорость нанесения. Вакуумный порт предназначен для подключения штатного двухступенчатого механического насоса, обеспечивающего уровень 10^-3 торр; опциональный турбонасос обеспечивает 10^-5 торр, масса установки составляет 50 кг.

Наименование производителя

MGSI E-beam Evaporation Coater for ITO TiO2 Al with 110-220V AC Power Adapter