Установка для магнетронного напыления

Система рассчитана на размещение в перчаточном боксе и включает одну радиочастотную плазменную головку для напыления и два испарительных источника. Газоочистительная станция поддерживает содержание кислорода и паров воды менее одной части на миллион. Камера бокса имеет размеры 1200 × 740 × 900 мм. Корпус изготовлен из нержавеющей стали марки 304 толщиной 3 мм. Открываемая передняя панель из закаленного стекла толщиной 8 мм обеспечивает доступ для загрузки. Вакуумная камера утоплена в нижнюю часть бокса; верхний фланец шарнирный и открывается вручную. Для наблюдения предусмотрены два кварцевых окна. Поворотный держатель, встроенный в верхнюю часть фланца, рассчитан на образец размером до 101,6 мм и вращается со скоростью 5 об/мин. Поворотная заслонка в нижней части фланца закрывает оба источника покрытия при работе одного из них для предотвращения перекрестного загрязнения. Внешний радиочастотный генератор с частотой 13,5 МГц, мощностью 300 Вт и автоматическим согласованием подключен к напыляющей головке размером 50,8 мм. Головка оснащена водоохлаждаемой рубашкой. Цифровой рециркуляционный водяной охладитель с расходом 16 л/мин служит для охлаждения головки. Радиочастотная головка совместима с изоляционными и проводящими материалами. На дне вакуумной камеры установлены два вольфрамовых спиральных нагревателя и два термопреобразователя типа B; в комплект входят четыре тигля из оксида алюминия, рассчитанные на температуру до 1700 °C. Цифровой регулятор температуры поддерживает 30 программируемых сегментов и точность ±1 °C. Переключатель позволяет направлять нагрев на один из тиглей с использованием того же регулятора. Рабочий диапазон температуры составляет 200–1700 °C, рекомендуемая скорость нагрева — 0,3 °C/с, а в диапазоне 1200–1700 °C — 15 °C/с. Вакуумный порт предназначен для подключения насоса. При ночной откачке опциональным турбомолекулярным насосом достигается давление менее 4,0 × 10⁻⁶ Торр. Антикоррозионный емкостной мембранный вакуумметр рассчитан на вакуум до 1,0 × 10⁻⁶ Торр. Вакуумный насос является опциональным; предусмотрены двухступенчатый пластинчато-роторный насос с уровнем 10⁻² Торр и турбомолекулярный насос с уровнем 10⁻⁵ Торр. Опциональный монитор толщины пленки измеряет массу осажденного слоя на кварцевом кристалле по изменению частоты его колебаний; точность измерения толщины составляет 0,01 нм. Масса нетто — около 362,9 кг.

Наименование производителя

MGSI Magnetron Sputtering Coater in Glove-box One 2" RF Sputtering + Two Evaporation Sources-VTC-H3-GB