Задача: Мониторинг процессов

Многопараметрический прибор одновременно и непрерывно обнаруживает семь параметров. Диапазон измерения метана составляет 0–100 об. % при разрешении 0,01 об. %, кислорода (O2) — 0–30 об. % при разрешении 0,1 об. %, угарного газа (CO) — 0–1000 частей на миллион при разрешении 1 часть на миллион, газа

Программное обеспечение поддерживает мониторинг толщины тонких плёнок и скорости осаждения. Для модели реактора предусмотрен опциональный датчик с кварцевыми кристаллами.