Лабораторный плазмоочиститель 3 л с кварцевой камерой и радиочастотным источником 3,0 МГц

Лабораторный плазмоочиститель оснащен камерой размером 160 × 190 мм, герметично закрываемой алюминиевым откидным фланцем с окном наблюдения диаметром 45 мм. Вакуум в камере создает двухроторный насос прямого подключения производительностью 120 л/мин; предельное разрежение составляет 50 мторр. Для образования плазмы допускается подача азота, аргона, водорода, кислорода, воздуха и смешанных газов с выбором состава с учетом свойств материала. Выходная мощность регулируется по трем уровням: 7,2 Вт, 10,2 Вт и 29,6 Вт. Панель управления позволяет настраивать время очистки и работу вакуумного насоса. Четырехразрядные цифровые индикаторы отображают время, мощность и вакуум. Трехходовой клапан регулирует подачу газа в рабочую камеру, а входной интерфейс рассчитан на соединение 6 мм. Оборудование работает при частоте питания 50/60 Гц.

Наименование производителя

MTI 3L Laboratory Plasma Cleaner 3.0MHz RF Frequency <500W Vacuum Pump <600W Total Power Dia.160mm*190mm Quartz Chamber-PCE-6, 3L Plasma Cleaner | for Surface Activation, Etching & Cleaning