Малогабаритный плазменный очиститель поверхностей со встроенным вакуумным насосом

Плазменная камера выполнена из высокочистого кварца и имеет размер Ø160 × 190 мм. Камера герметизирована алюминиевым фальцованным фланцем со смотровым окном диаметром 45 мм. Радиочастотная система работает на частоте 3,0 МГц, а выходная мощность выбирается вручную на одном из трех уровней: 7,2, 10,2 или 29,6 Вт. Питание рассчитано на частоту 50/60 Гц. С панели управления регулируют время обработки и работу вакуумного насоса; четыре цифровых индикатора отображают время и степень вакуума. Трехходовой клапан обеспечивает точное управление потоком газа, а входное соединение имеет размер 6 мм и выполнено в виде цангового интерфейса. Вакуумный насос прямого подключения отличается двухступенчатой роторной конструкцией, производительностью 120 л/мин и мощностью менее 500 Вт. Предельное разрежение составляет 50 мторр, суммарная мощность установки не превышает 600 Вт. В камеру можно подавать N₂, Ar, H₂, O₂, воздух и смешанные газы. Габариты устройства составляют 400 × 300 × 300 мм, масса — 10,2 кг. В качестве принадлежностей предусмотрены кварцевые лодочки или держатели размером 50,8–152,4 мм для размещения подложек, а также система смешивания газа на 2–4 канала протонного или поплавкового типа.

Наименование производителя

PCE-6 Versatile Plasma Cleaner with Integrated Vacuum Pump for Efficient Surface Cleaning