Артикул: 511-995
Модель: ДУТ-55(8К)
Секция: Дополнительная
Термическая система атомно-слоевого осаждения с микроволновой плазмой
Система атомно-слоевого осаждения рассчитана на работу с подложками размером от 101,6 до 304,8 мм. Высота образца составляет 6 мм, также доступна возможность работы с образцами большей высоты. Температура подложки регулируется от комнатной температуры до 400 °C с точностью ±1 °C; предусмотрена опция повышения максимальной температуры. Система подачи прекурсоров оснащена двумя стандартными каналами с возможностью расширения до шести и более каналов. В качестве газа-носителя используются азот или аргон. Доступны непрерывный режим, режим остановки потока и режим настройки давления. Дополнительное оснащение включает перчаточный бокс, держатели для крупных и нескольких образцов, держатели для инкапсуляции частиц, генератор озона, систему мониторинга непосредственно в процессе, систему обработки выхлопа и специальные реакционные камеры. Показатель равномерности осаждения составляет менее ±1%. Электропитание осуществляется от сети 220 В, 15 А переменного тока, 50–60 Гц. Система размещена в стандартном металлическом шкафу со съёмными панелями и регулируемыми опорами. Габариты оборудования составляют 1100 × 600 × 1200 мм.
Задать вопрос Искать на Baidu
Какую задачу решает система атомно-слоевого осаждения
Система атомно-слоевого осаждения предназначена для проведения процессов осаждения на подложках с контролем температуры и равномерности осаждения.
Характеристики ДУТ-55(8К)
Модель (по базе 91Т)ДУТ-55(8К)
Материалсистема термического атомно-слоевого осаждения, система атомно-слоевого осаждения с микроволновой плазмой
Приводсистема атомно-слоевого осаждения
Размер1100 × 600 × 1200 мм
Типвакуумный сушильный шкаф
Система атомно-слоевого осаждения - гибкость поставки.
Мы учитываем, что каждый проект индивидуален. В связи с этим по запросу мы уточним, возможна ли донастройка технических характеристик, типоразмеров и комплектации ДУТ-55(8К) под ваши требования (усилиями первого изготовителя или собственного завода в России).
Мы учитываем, что каждый проект индивидуален. В связи с этим по запросу мы уточним, возможна ли донастройка технических характеристик, типоразмеров и комплектации ДУТ-55(8К) под ваши требования (усилиями первого изготовителя или собственного завода в России).
Дата актуализации информации: 26.09.26
Производитель и параметры оборудования проверены.
Люди, которые искали Система атомно-слоевого осаждения, также смотрели:
+5 фотоАвтоматический станок с ЧПУ для резки и гибки арматуры
Модель: ЕШП-48(2У)
Станок оснащён двумя ползунковыми селекторами угла, с помощью которых задаётся угол гибки в диапазоне от 0 до 180 градусов. Предусмотрены фиксаторы для повторения одинаковых изгибов. При настройке угол в точке 1 должен быть больше угла в точке 2, иначе станок не сможет работать корректно. Управление
+5 фотоИнверторный бензиновый генератор с пиковой мощностью 5,5 кВт и чистой синусоидой
Модель: СУВ-84(1А)
Генератор имеет открытое рамное исполнение, рассчитанное на эффективный воздушный поток и доступ к узлам для технического обслуживания в полевых условиях. Номинальная выходная мощность составляет 5,0 кВт, а номинальное напряжение — 220 В при однофазной схеме. Для низковольтных потребителей предусмот
+5 фотоГидравлический пресс
Модель: ЖПИ-52(2Р)
Гидравлический пресс рассчитан на работу с ручным или электрическим насосом. Для подключения к источнику питания предусмотрены варианты 220 В и 380 В. Усилие цилиндра составляет 70 т, а давление регулируется в диапазоне от 0 до 63 МПа. Масса оборудования равна 129 кг; компактное исполнение упрощает
+5 фотоВинтовой воздушный компрессор, бывший в употреблении
Модель: ВИВ-45(5Ш)
Винтовой воздушный компрессор оснащён двухступенчатым винтовым рабочим блоком с герметизированным ротором, что снижает внутренние утечки. В состав силовой установки входит дизельный двигатель с электронной системой впрыска; его мощность сохраняется при работе на большой высоте. Производительность по