Монитор толщины тонких плёнок и скорости осаждения

Прибор определяет толщину осаждённой плёнки по изменению частоты колебаний кварцевого кристалла, вызванному массой материала на его верхней поверхности; после ввода плотности испаряемого материала измерение выполняется с разрешением 0,037 Å. Для алюминия разрешение толщины составляет 0,0136 Å, диапазон измерения — 500 000 Å, погрешность — ±0,5% с зависимостью от положения датчика, механического напряжения материала, температуры, плотности и условий процесса; частотное разрешение равно ±0,03 Гц, период одного измерения настраивается от 100 мс до 1 с, а аналоговый канал имеет разрешение 8 бит. Программное обеспечение и дисплейный прибор позволяют задавать время стробирования, режим передачи, алгоритм расчёта скорости, параметры вещества, диапазон передачи и параметры связи, сохранять данные в табличный файл; дисплей показывает толщину, скорость, частоту, процент ШИМ-управления и другие рабочие состояния. Подключение к компьютеру выполняется через последовательный интерфейс 485 со скоростью обмена 1200, 2400, 4800, 9600, 19200 или 38400 бод, с 8 битами данных, 1 стоповым битом и без проверки; ШИМ работает через открытый коллектор или внутренний уровень 5 В. Модуль питается постоянным током 5 В ±10% при максимальном токе 400 мА, дисплейный прибор получает переменный ток 220 В ±10% и выдаёт постоянный ток 5 В, 3 А, а его индикация выполнена на цифровом индикаторе 12 × 2 и светодиодах; рабочая среда допускает температуру 0–50 °C и относительную влажность 5–85% без конденсата. Размеры модуля составляют 90 × 50 × 18 мм, дисплейного прибора — 182 × 65 × 160 мм. Зонд предназначен для кристалла 6 МГц диаметром 14 мм; охлаждающая водяная трубка имеет диаметр 3 мм и длину 300, 500 или 1000 мм при давлении воды менее 0,3 МПа, пневматическая трубка имеет диаметр 3 мм, а давление сжатого воздуха должно быть более 0,5 МПа и менее 0,8 МПа. При прогреве температура при протоке воды ниже 200 °C, для фланца без протока воды — ниже 100 °C; кристалл и держатель соединяются с прибором через поставляемый вакуумный ввод, электрический интерфейс зонда выполнен в виде гнезда. Стандартный комплект включает один комплект модуля мониторинга, один комплект дисплейного прибора и один комплект зонда.

Наименование производителя

TM106-LD In-Situ Thin Film Thickness / Deposition Rate Monitor with Software, and Optional Sensor, Quartz Crystals