Компактная установка магнетронного распыления

Установка магнетронного распыления оснащена двумя головками с водоохлаждаемыми кожухами и шторками. Одна головка подключена к источнику постоянного тока мощностью 500 Вт, другая — к радиочастотному источнику мощностью 300 Вт с частотой 13,56 МГц. Электропитание рассчитано на 208–240 В переменного тока при однофазном режиме и частоте сети 50/60 Гц. Размер мишени составляет 50,8 мм в диаметре при толщине 0,1–5 мм; мишени доступны опционально. Вакуумная камера из нержавеющей стали имеет размер 300 мм в диаметре и 300 мм по высоте, стеклянное смотровое окно 100 мм и откидной верхний фланец для доступа к образцу. Вращающийся нагреваемый столик для образцов диаметром 140 мм работает при температуре до 500 °C, его скорость вращения составляет 1–20 об/мин; предусмотрен одноточечный программируемый регулятор температуры. Газовый контур включает два массовых расходомера с диапазоном 0–200 стандартных см³/мин при калибровке по азоту и вентиляционный порт 6,35 мм. Габариты при закрытой крышке составляют 1219,2 × 711,2 × 812,8 мм, при открытой — 1219,2 × 711,2 × 939,8 мм; масса нетто — 160 кг. Для плазменного распыления используется аргон чистоты 5N.

Наименование производителя

VTC-600-2HD-LD DC/RF Dual-Head 2" Magnetron Sputtering Coater with Rotating Heating Stage & MFC Gas Control