Система подготовки тонкоплёночных батарей с тремя головками для магнетронного распыления

Модульное исполнение предусматривает раздельные вакуумную камеру, насосную группу и блок управления питанием; конфигурацию узлов можно адаптировать к рабочим требованиям. Пушки для мишеней подключаются к одному радиочастотному источнику через переключатель, допускают замену и водяное охлаждение; схема питания позволяет одному источнику управлять несколькими пушками либо нескольким источникам — одной пушкой. Рабочее напряжение узла равно 220 В при частоте 50 Гц, общая мощность — 2,5 кВт, а предельный вакуум достигает 10⁻⁶ мбар; при применении механического насоса достигается 10⁻³ мбар. Регулирование температуры нагрева выполняется с точностью ±1 °С; мощность распыления равна 300 Вт в радиочастотном режиме и 500 Вт в режиме постоянного тока. Материал мишени имеет диаметр 50,8 мм и толщину 0,1–5 мм, а столик образца диаметром 140 мм вращается с регулируемой скоростью 1–20 об/мин. Для распыления и поддержания среды применяются аргон, азот, гелий и другие инертные газы; контрольным газом служит сжатый воздух или инертный газ, восстановительная смесь содержит рабочий газ и водород, а при удалении только воды используется рабочий газ; расходомер управляет двумя каналами подачи с расходом 100 и 200 см³/мин. Габариты узла распыления равны 950 × 460 × 810 мм, перчаточного бокса — 2300 × 1500 × 1900 мм; рабочая камера перчаточного бокса имеет размеры 1220 × 760 × 900 мм и оснащена двумя передними камерами: большой диаметром 360 мм и длиной 600 мм, малой диаметром 150 мм и длиной 300 мм. Система очистки автоматически регенерируется, удаляет воду и кислород и длительно поддерживает в рабочей зоне содержание каждого менее 1 части на миллион при 20 °С и 1 атм. Давление рабочей зоны автоматически регулируется сенсорным экраном и программируемым контроллером с допуском ±1 Па или вручную ножной педалью; датчик давления работает в диапазоне от −2500 до 2500 Па, а фильтры на входе и выходе имеют степень фильтрации 0,3 мкм. Цветной сенсорный экран диагональю 152,4 мм поддерживает переключение китайского и английского интерфейсов. Датчики воды и кислорода имеют диапазон 0–1000 частей на миллион и точность 0,1 части на миллион; насос обеспечивает производительность 8,4–12 м³/ч, перчатки изготовлены из синтетического бутилкаучука, а освещение выполнено люминесцентной лампой. ^*

*) Описание оборудования представлено в авторской редакции иностранного производителя. Наши инженеры уже включили техническую и эстетическую редактуру описания в рабочий план. Мы в ближайшее время уточним терминологию и характеристики, перепроверим технические детали и доработаем текст так, чтобы описание ШПЭ-27(5С) закрывало большинство вопросов, а назначение, возможности и задачи оборудования стали понятны каждому. Не хотите ждать? Задайте вопрос прямо сейчас.

Наименование производителя

Laboratory Vacuum Thermal Evaporation Coater With Two Heating Sources GSL-1800X-ZF2, VTC-600-3HD Threel-Head Magnetron Sputtering Coater Lab Drying Equipment Vacuum Magnetron Plasma Sputtering Coater, MGSI Glove Box VGB-600-3HD Thin-Film Battery Preparation System Plasma Sputtering Coater with 3 Sputtering Sources